標(biāo)準(zhǔn)組件

高品質(zhì)的鏡面基板，玻璃和石英玻璃

具有公差的PR涂層

Ø對(duì)于R = 10 ... 30％，±2％

Ø對(duì)于R = 30 ... 75％，±±3％

Ø對(duì)于R = 75 ... 90％，±±2％

Øo±1％，R> 90％

Ø•開發(fā)和生產(chǎn)客戶特定的組件

圖2：不同AOI（a）下308nm可變衰減器的透射光譜和308nm處透射率與AOI（b）的關(guān)系。

在AOI = 0°時(shí)，透射率從T> 85％變化到在AOI = 45°時(shí)T = 2±1％（非偏振光）

耐氟腔光學(xué)

圖3：氟化KrF激光鏡（a）和R = 50±3％的輸出耦合器（b）的反射光譜

•氟化物涂層和CaF2基材，對(duì)氟和氯具有較高的穩(wěn)定性

•激光鏡（在248nm和308nm處為> 98％，在351nm下R> 96％）

•高品質(zhì)的鏡面基板，窗戶和CaF2透鏡（248nm準(zhǔn)分子級(jí)或紫外線質(zhì)量，肖特公司）

•具有公差的PR涂層

對(duì)于R = 10 ... 30％，±2％

對(duì)于R = 30 ... 75％，o±3％

o±2％，R = 75 ...> 90％

KrF，XeCl和XeF激光組件的技術(shù)參數(shù)

*在Laser LaborGöttingen和Friedrich-SchillerUniversitätJena進(jìn)行了測(cè)量

**能量密度：100mJ / cm 2， 速率：100Hz，脈沖持續(xù)時(shí)間：15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進(jìn)行測(cè)試

***能量密度：55 mJ / cm2， 速率：100Hz，脈沖持續(xù)時(shí)間：15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進(jìn)行測(cè)試